Profilm3D光学轮廓仪让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
100mm自动XY样品台
您还在位每人都希望要的功能而支付额外的费用吗?我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台,4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
超大的视场范围
Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围,同时其z大4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。
1、特征值
2、8μm台阶高度
3、精确度是指每天测量30次10um台阶高度标样的1次标准差,连续成功测量20天的平均值。环境温度稳定性小于1°C。
稳定性是指连续成功测量10um台阶高度标样20天,取每天测量30次数值的平均值,计算2倍标准差。环境温度稳定性小于1°C。
4、所有变焦缩放后的有效像素为648x484(通过数位化的pixelbinning实现)
5、分开销售
6、样品上投影的像素大小
7、样品表面粗糙时可测z大倾角将更大
优尼康科技有限公司(UNICORNTECHNOLOGYCO.,LTD.)成立于2012年11月,注册于中国香港,是翌颖科技(上海)有限公司的子公司。
翌颖科技(上海)有限公司主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供全面的一对一销售服务,技术支持,备件管理和咨询服务。
不同于大多数的设备分销公司,我们具备技术与丰富的行业经验,不光只为用户提供设备,同时也能提供设备具体应用及工艺方面的支持服务。
3D光学轮廓仪
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